ICP-MS GCMS~分子泵日常15點(diǎn)易發(fā)故障和解決方法

應(yīng)用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向活動(dòng)而抽氣的真空泵。渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快，能抗各種射線的映照，耐大氣沖擊，無氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能取得清潔的超高真空。渦輪分子泵普遍用于高能加速器、可控?zé)岷朔错懓惭b、重粒子加速器和高級(jí)電子器件制造等方面。

15點(diǎn)易發(fā)故障和解決方法如下：

 1、為什么分子泵是半熱半冷的？

  原因：附近有陽光或其他熱源

  解決方案：避免光或熱源

  2、分子泵使用過程中油變黑。 為什么油會(huì)變黑？ 或者油變黑需要多長(zhǎng)時(shí)間？

  原因：散熱不好，負(fù)載過大

  解決方法：檢查冷卻系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng)

  3、分子泵運(yùn)行過程中，頻率從正常下降到一定頻率，然后恢復(fù)正常，再下降到一定頻率，再恢復(fù)正常，反復(fù)，更換后現(xiàn)象依舊 電源，是什么現(xiàn)象？ 解釋？

  原因：負(fù)載過大，系統(tǒng)真空度不夠

  解決方法：檢查系統(tǒng)

  4、分子泵軸承為什么會(huì)燒壞？

  原因： ① 缺乏定期維護(hù) ② 冷卻不良導(dǎo)致過熱 ③ 未及時(shí)更換油 ④ 抽出的氣體中含有大量灰塵

  解決方法：①及時(shí)保養(yǎng) ②檢查冷卻系統(tǒng) ③及時(shí)換油 ④隔離灰塵

  5. 有了防護(hù)網(wǎng)的保護(hù)，為什么還有大塊的碎玻璃掉進(jìn)泵里？

  原因：防護(hù)網(wǎng)壞了，前管路壞了

  解決方案：優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)

  6、真空度很好時(shí)，為什么分子泵油會(huì)回到前級(jí)管路？

  原因：油池破裂或密封不良

  解決方法：檢查油池

  7、在正常使用下，分子泵油池為什么會(huì)出現(xiàn)裂紋或變形？

  原因：過熱、重載

  解決方法：檢查冷卻系統(tǒng)，檢查系統(tǒng)

  8、頂絲、螺絲等物件經(jīng)常掉出分子泵，如M5的頂絲。 是否影響分子泵的使用？ 如何解決？

  原因：應(yīng)該是偶爾的事情，可能是天平中漏掉了一個(gè)天平栓，對(duì)分子泵沒有影響。

  解決方法：應(yīng)該是偶爾的事情，可能是天平上少了天平釘，對(duì)分子泵沒有影響。

  9. 皮圈分子泵卡鉗用幾把，使用安全嗎？

  答：沒有特別限制，根據(jù)法蘭尺寸至少可以選擇3、3、6、12、24等

  10、逆變電源在什么情況下會(huì)造成程序丟失或混亂？

  答：①電壓不穩(wěn)定②強(qiáng)干擾③高壓點(diǎn)火④想解密

  11、如何定義分子泵的噪聲？ 有資格標(biāo)準(zhǔn)嗎？它是什么？

  答：72db以下合格，噪聲大小沒有明確定義，需要專用設(shè)備和特定的測(cè)試環(huán)境

  12、分子泵對(duì)冷卻有明確的要求嗎？ 空氣冷卻所需的外部溫度是多少？ 如果是水冷，對(duì)水的具體要求是什么？ 如果不滿足要求會(huì)有什么后果？

  A：注意水溫和水流。 冷卻不良會(huì)導(dǎo)致無端停機(jī)、泵壞、油變黑等。

  13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題。 最好的方法應(yīng)該是什么？

  答：電源本身有接地線，只要保證城網(wǎng)接地良好即可； 屏蔽主要是指對(duì)強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)輻射的屏蔽。

  14、變頻器電源在轉(zhuǎn)速上升時(shí)會(huì)自動(dòng)關(guān)機(jī)，即顯示“Poff”？

  答：原因：電壓低

  15、分子泵葉片折斷是什么原因？

  答：分子泵轉(zhuǎn)子和定子壞的原因有很多，可以總結(jié)如下：

  ①、誤操作； 比如突然的真空破壞，因?yàn)檗D(zhuǎn)子和定子葉片之間的間隙很小，如果葉片的材料比較薄或比較軟，突然的空氣阻力會(huì)導(dǎo)致葉片變形，可能會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)子和定子 要變形。 它們之間的摩擦，導(dǎo)致破損。

  ②、是異物掉入； 不裝過濾網(wǎng)肯定不行，掉進(jìn)去的東西不一定要大，但是硬度夠的話會(huì)造成損壞，光是刀刃就會(huì)有鋸齒， 重將被擊中。 破碎的葉子。 因此，目前的設(shè)備制造商在安裝分子泵時(shí)盡量將分子泵呈90度角或倒置安裝，以免異物掉入其中。

  ③電壓不穩(wěn)定，尤其是磁懸浮分子泵。

  ④。 前級(jí)泵效率差； 我們知道，腔體中的大部分氣體首先被前級(jí)泵抽出，直到真空度達(dá)到一定水平，分子泵才會(huì)啟動(dòng)。 如果前級(jí)泵效率差，分子泵會(huì)比較費(fèi)力，啟動(dòng)速度慢，抽氣時(shí)間長(zhǎng)，電流大，分子泵溫度升高。

  ⑤。 維護(hù)時(shí)分子泵的動(dòng)平衡沒有做好，這是技術(shù)的關(guān)鍵。 動(dòng)平衡不良導(dǎo)致振動(dòng)大，泵送效率差，易造成軸承零件過度磨損。

  ⑥。 軸承部分沒有使用原廠標(biāo)準(zhǔn)軸承，效果和尺寸不標(biāo)準(zhǔn)。